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真空泵
永磁變頻微油螺旋式真空泵
節能、環保且高抽速的永磁變頻微油螺旋式真空泵
漢鐘為全球最大螺旋式壓縮機製造商，繼開發出國產第一台適用半導體製程乾式螺旋真空泵，進而發展國產第一台新型PA VSD+系列微油螺旋式真空泵，以永磁電機+變頻節能技術，因應真空製程生產過程中不斷變化的抽氣需求，減少頻繁啟停所造成耗電及設備耗損情況，並以自有專利螺旋轉子技術，開發出低耗能、高抽速永磁變頻螺旋真空泵。
漢鐘永磁變頻微油螺旋式真空泵優勢：
- 變頻控制能效高
- 永磁電機效率高、體積小、噪音低
- 可連續抽氣滿足真空度需求
- PLC自動化控制，支援遠端通訊
- 隔音箱型靜音式，低振動、低噪音
螺旋式真空泵機體的工作原理：
螺旋真空泵屬於容積式真空泵。在螺旋真空泵腔體中，平行地配對著一對相互嚙合的公、母轉子。公轉子由電動機連接轉動而帶動母轉子進行反向旋轉。依靠公、母轉子作迴轉運動引起泵體容積週期性擴大和縮小的變化來實現抽氣。漢鐘轉子專利線型設計保證了微油螺旋真空泵抽氣性能。
微油螺旋式真空泵機組的工作原理：
流程圖中藍色部分的被抽製程氣體通過進氣過濾器過濾，經系統控制進氣閥打開進入真空泵腔體，與泵體內噴出的油霧混合，迴圈完成後如綠色部分，進入油氣桶內旋風分離後排出。
微油螺旋式真空泵應用場所：
微油式真空泵機組產品比較：
| 相同抽氣速度真空泵能耗比較 | ||||
| 抽速(m3/min) | PA真空泵(HP) | 鼓風式真空泵(HP) | 輪葉式真空泵(HP) | 電費最多可省(年) |
| 8 | 7.5 | 15 | 15 | 20萬 |
| 10 | 10 | 20 | 20 | 25萬 |
| 12 | 15 | 25 | 22.5 | 25萬 |
| 16 | 20 | 30 | 30 | 25萬 |
| 22 | 30 | 40 | 40 | 25萬 |
| 26 | 40 | 45 | 47.5 | 20萬 |
| 32 | 50 | 55 | 57.5 | 20萬 |
PA永磁變頻螺旋式真空泵
鼓風式真空泵
輪葉式真空泵
產品規格表：
| 漢鐘永磁變頻微油螺旋式真空泵技術參數表 | |||||||||
| 機型 | PA350VSD+ | PA585VSD+ | PA730VSD+ | PA900VSD+ | PA1300VSD+ | PA1600VSD+ | PA1900VSD+ | ||
| 真空泵 | 抽速(m3/min) | 8 | 10 | 12 | 16 | 22 | 26 | 32 | |
| 極限壓力（Torr） | 0.5 | ||||||||
| 進氣口尺寸 | 3" | 6" | |||||||
| 排氣口尺寸 | 3" | 4" | |||||||
| 傳動方式 | 直聯 | ||||||||
| 潤滑油量(L) | 30 | 50 | 80 | ||||||
| 排氣量控制方式 | 0~100%自動控制 | ||||||||
| 最高工作環境溫度℃ | 46℃ | ||||||||
| 馬達 | 功率(kW) | 5.5 | 7.5 | 11 | 15 | 22 | 30 | 37 | |
| 接線盒位置 | 上方 | ||||||||
| 電壓(V)/頻率(Hz) | 380V/50Hz/60Hz | ||||||||
| 型式 | 全密閉型 | ||||||||
| 啟動方式 | 變頻啟動 | ||||||||
| 冷卻器 | 冷卻方式 | 氣冷式 | |||||||
| 風扇功率(kW) | 0.09 | 0.43 | 1.6 | ||||||
| 風冷排風量(m3/min) | 35 | 88 | 185 | ||||||
| 安全保護裝置 | 進氣壓差，排氣高溫,排氣高壓,過電流,欠相,逆相，安全閥 | ||||||||
| 保養指示裝置 | 空氣過濾器,油過濾器,油細分離器，潤滑油/脂 | ||||||||
| 控制器 | 數位溫度/壓力顯示控制,全自動運轉/停機控制 | ||||||||
| 多機連鎖控制/物聯網 /遠程控制 | |||||||||
| 機組淨重kg | 875 | 900 | 1210 | 1350 | 1680 | ||||
| 外觀尺寸 | 長(mm) | 1600 | 2000 | 2100 | |||||
| 寬(mm) | 1050 | 1500 | 1620 | ||||||
| 高(mm) | 1204 | 1600 | 1850 | ||||||
